第664章 爱玩的女孩孕气都不会太差(修)(1/6)
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看着田旭东同学在足球场上纵横驰骋大杀四方,捧走了大力神杯成为了新一代球王,叶华功德圆满回到了台积电设置在氹仔岛的合作实验室搞研发。
前两年刚完成了浸入式光刻技术,现在叶华又要带领台积的供应商光刻机研发部门进入(极深紫外)时代。
为叶华旗下的高通、华技、台积电、东方电子等半导体生产商提供光刻机及相关服务,系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向采购机型,比如叶华旗下的高通、华技、海力士(ynix)、台积电()、中芯国际()等,同时也在各地成立了合作实验室。
的产品线分为系列、系列、系列和系列,其中系列光源为高压汞灯光源,现已停产;系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是系列以及系列,为r和r激光光源,系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。目前已经商用的最先进机型是ins 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。
正在加紧研制基于极深紫外()光源的新型光刻机,型号定为系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。
众所周知,光刻是集成电路芯片制造的核心工艺。光刻机的成本占到了整个芯片生产的三分之一以上。而在光刻机的市场上,白婷在1977年就帮叶华注册的公司,而如今占到了全球光刻机80%以上的市场。
1960年代集成电路技术诞生后,最早的光刻工艺还不算什么尖端科技。叶华早期收购的仙童和这些第一代芯片公司都是自己设计光刻工具,只有,&和aser等少数公司开发一些独立的光刻设备。进入1970年代,光刻机成为不少米国公司竞争的焦点。先是aser推出接触式光刻设备,但是很快,接触式被接近式机台所淘汰,因为掩模和光刻胶的接触会很容易带来污染。接下来erkin lmer(&)推出投影式光刻系统,迅速占领市场。
1978年,仙童的光刻部门剥离出去,并入了公司,很快推出步进式光刻机,光刻机的分辨率达到了1微米。但是由于性能问题,暂时没能撼动erkin lmer投影式光刻机的市场领先度,直到进入80年代后,公司又推出更成熟的步进式光刻机-1010,投影
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